蓝宝石上硅基超高速光导开关THz波辐射特性的研究

蓝宝石上硅基超高速光导开关THz波辐射特性的研究，杜忠勋，韩美瑞，本文研究了以O+离子注入的蓝宝石上硅（SOS）作为超高速光导开关的基底材料，并且用原子力显微镜探针阳极氧化加工的纳米氧化钛线作�