液相外延生长GaAs微探尖的质量改进,许育波,梁秀萍,本文对比了两种在选择性液相外延生长GaAs微探尖结束后使生长液与衬底脱离的方法:平推法和旋转石墨舟法。利用扫描电子显微镜对两�