基于工艺模拟的MEMS断裂可靠度预测方法,王磊,宋竞,本文给出了一种基于工艺模拟的MEMS结构断裂失效概率计算方法,充分考虑了非理想形貌对失效概率的影响,使得预测结果更加准确。并��