原子层沉积薄膜封装聚合物太阳能电池,李衎,范欢欢,倒置型无ITO聚合物太阳能电池器件结构为Al/TiOx/P3HT:PC61BM/PH1000.在制备中,原子层沉积(ALD)技术用以封装器件.氧化铝通过ALD技术沉积�