TrenchSBR器件的CMP相关工艺研究,顾文炳,陈东坡,本文主要阐述了TrenchSBR(沟槽超级势垒整流器)的器件形貌改善经过及结果,并详细介绍了该类型器件围绕CMP工艺变更而对各项工艺的��