微机电系统(MEMS)模型数学研究简介

早在二十世纪六十年代，在硅集成电路制造技术发明不久，研究人员就想利用这些制造技术和利用硅很好的机械特性，制造微型机械部件，如微传感器、微执行器等。如果把微电子器件同微机械部件做在同一块硅片上，就是微机

微机电系统(MEMS)导论,英文版书籍，第二版

微机电系统基础FoundationofMEMS作者：刘昶翻译：黄庆安机械工业出版社

ppt为哈尔滨工业大学MEMS课件之一，需要的自取 课程主要内容： 微系统概述 微机电系统功能材料 微机械制造技术 微机械执行器 微机械传感器 微机械弱信号检测与处理 设计与软件介绍

微机电系统（MEMS）的分类，制造工艺，几种重要的器件等。

mems(微机电系统)传感器;有三项MEMS技术产品:红外传感器、磁性传感器、测角传感器;在高档汽车中,大约采用25至40只MEMS传感器;

本文将研究医疗导航应用的独特挑战,并且探讨可能的解决方案--从传感器机制到系统特性。首先将回顾传感器的一些重要性能指标,以及在传感器选型中应当考虑的潜在误差和漂移机制。本文还会重点介绍通过集成、融合和

这是那个四个压缩包的上海交大MEMS（微机电系统）动力学讲义的完整版本，免去大家到处找的麻烦了。

想象下你坐在一个以恒定转速旋转着的旋转木马上:你站在它的中心,开始以一个恒定的速度沿着一条直线行走,这条直线是以放射状画在地板上,从中心指向外沿(图1)。你会感觉到什么力量?这一问题的答案会有助于解释

很好的微机电系统教材，仅用于参考，勿作商用。