智能MEMS气体传感器中微加热器的优化设计

在ANSYS有限元分析软件中对矿用微机电系统(MEMS)甲烷传感器硅微加热器功率进行了优化设计。首先建立了基于已知掺杂浓度求解一定温度范围内硅电阻率的计算模型;然后根据计算结果,利用ANSYS软件对U

用V.A G 1551(或V.A.G 1552)检查,检查时起动发动机,输入地址码01“发动机控制单元”。屏幕显示“选择功能××”,这时按0和8键确认输入,“读取测量数据块”,按Q键确认,按0、4和1

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