科学级CCD相机标定系统的设计.pdf

针对某系统中大批量科学级CCD相机标定的需求,设计了一套能够大批量、快速标定科学级CCD相机的高准确度标定系统.相机标定系统由1053nm纳秒固体激光器、刀口、双积分球、激光功率计、信号发生器、计算机与数据处理软件组成,该标定系统可对科学级CCD在1053nm光脉冲条件下的调制度、对比度、疵点、光学动态范围、响应非线性等关键技术指标进行标定.系统设计了高均匀度、高稳定度的双积分球作为均匀光源,有效改善了测量系统的性能及测量准确度.实验结果表明,该相机标定系统能够快速、高效地对大批量科学级CCD相机进行高