宏孔硅光电化学腐蚀光谱响应曲线测量,王国政,兰春蕾,宏孔硅微通道阵列在光子晶体、硅微通道板、MEMS器件等领域应用前景广阔。本文开展了宏孔硅光电化学腐蚀光谱响应特性研究,设计了�