掠入射X射线荧光与X射线反射综合表征多层膜结构,杨晓月,李文斌,掠入射x射线荧光与x射线反射率是一种综合分析薄膜材料结构的表征方法。应用此技术不仅可以进行元素分析,而且可以给出膜层的厚度�