中频磁控溅射制备无液滴TiC-DLC涂层,杨兵,黄志宏,用多弧中频磁控溅射技术在多种衬底上制备了TiC-DLC涂层,研究了乙炔流量和偏压的影响,发现随着乙炔流量的增加,涂层结构从含TiC的DL