针对特殊有源区图形设计的DirectSTICMP工艺控制方式优化,张守龙,程秀兰,本文根据实际生产需求,解决了特殊有源区图形设计的产品在DirectSTICMP生产中无法通过终点探测技术(EPD)进行工艺控制的问题。通过分��