硅掺杂碳纳米管薄膜的制备及其力学性能,童潇,李达,通过浮动催化化学气相沉积法成功制备了硅原子掺杂的碳纳米管薄膜。利用电子扫描显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、X射线光电子能