针对含有资源流动和信息交互的终端行为建模问题，提出了一种混合Petri网行为建模方法。引入活性变迁和惰性变迁两种变迁模式，描述终端行为的耦合、制约、异步关系。建立混合Petri网模型，揭示化学羽流追踪终端各行为之间的交互关系，以Robotics模块为验证与分析工具，仿真机器人终端运动过程，同时获得六个关节角度变化的平稳曲线。最后，在六自由度串联机器人平台加以验证。实验结果表明，该混合Petri网模型客观真实地表达对象内部逻辑关系与交互作用机制，对自主式羽流追踪机器人终端行为建模是有效可行的。