溶胶凝胶法制备的偏锡酸锌薄膜结构表征,张海娇,焦正,偏锡酸锌是一种用于氮氧化物和湿度检测的新型材料,近年来受到越来越多的重视。本文中采用溶胶凝胶技术在氧化铝和硅片衬底上成功