X射线光电子能谱紫外光电子能谱俄歇电子能谱X射线光电子能谱（XPS）电子能量分析器其作用是探测样品发射出来的不同能量电子的相对强度。它必须在高真空条件下工作即压力要低于10-3帕，以便尽量减少电子与分析器中残余气体分子碰撞的几率。