基材温度是通过热丝化学气相沉积(HFCVD)制造的金刚石膜的重要因素,这会影响金刚石膜的晶粒尺寸和质量。为了在切割工具上沉积高质量的多晶金刚石膜,需要进一步研究基板的温度分布。因此,使用三维有限元模拟来研究具有不同排列的细丝的温度场,这对基板温度分布具有深远的影响。根据仿真结果,确定了距钻尖的距离和细丝之间的间隙的最佳参数。随后,以从模拟结果获得的最佳值进行了在WC-Co钻头上沉积金刚石膜的实验。然后,通过扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱研究所制造的金刚石膜。结果表明,钻头的表面覆盖有一层连续的金刚石膜,这证明了模拟沉积参数是有益的,并提供了一种新方法来调节用于沉积金刚石膜的CV