Y2O3/Si界面电学特性研究,王旭,贾仁需,为了研究不同退火温度对Y2O3/Si界面电学特性的影响,对Y2O3/Si界面做快速热退火处理。用CV和IV方法对Al/Y2O3/Si/AlMOS电容进行电学特性测试�