RF-PCVD法碳化钨纳米粉的制备,闫波,孙彦平,本文以WCl6+H2+C2H2为反应体系,采用高频等离子化学气相沉积法(RF-PCVD)制备了纳米级碳化钨(WC)粉体。文中采用HRTEM(高分辨率透射�