基于Krylov子空间投影法的MEMS宏建模方法,阎子健,苑伟政,本文基于Krylov子空间投影法结合有限元分析(FEA)建立了一种宏模型提取方法,以便能够在系统级快速地建立器件宏模型。这种方法通过