纳米二氧化钒薄膜在金属-绝缘体相变过程中的红外光传播特性研究,梁继然,刘星,采用反应磁控溅射附加热处理的方式制备了纳米结构二氧化钒薄膜。利用X射线衍射,扫描电子显微镜,对薄膜的晶体结构和表面形貌进��