电容式传感器:1.掌握传感器工作原理及特性2.掌握测量电路3.了解传感器的应用

7.1 工作原理及特性工作原理:将被测量转化为电容量变化

工作特性:灵敏度s与极距的平方成反比,极距越小,灵敏度越高,但极距减小受电容极板间击穿电压的限制。一般δ0=0.1~1mm左右。?电容量C与极距δ呈非线性关系,为了减小非线性误差,通常极距变化范围Δδ/δ0≈0.01~0.1。?此类电容传感器仅适于微小位移的测量(0.01μm~数百微米);非接触测量

电容式传感器

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