制备高亮度 LED的等离子刻蚀技术.pdf

liwanglin224176 9 0 PDF 2020-06-10 18:06:48

现在蓝宝石仍是生长HBLED结构的衬底选择。不过,采用蓝宝石生长也存在两个问题:蓝宝石没有完美的晶格匹配,光提取会因为有两个

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