理论上研究了纳米级ISFET生物传感器的源漏电流和电流灵敏度与水溶液中DNA分子浓度的相关性。在计算中，执行有关电流通道中的电荷载流子分布和通道中高电场中载流子的迁移行为的影响。DNA分子对ISFET生物传感器工作的影响通过栅极表面电荷大小的变化来体现。从相当低的DNA浓度开始，ISFET传感器对水溶液中DNA分子的存在做出反应，这通过调节通道电导以及场效应晶体管的源漏电流变化来体现。结果表明，相对于DNA分子浓度的电流灵敏度线性地取决于源极-漏极电压并达到高值。