在这项工作中，研究了通过双阴极直流不平衡磁控溅射在较长的衬底目标距离（ds-t）下沉积在未加热的衬底上的TiO2薄膜的结构和光学性质。将二氧化钛（TiO2）薄膜沉积在未加热的Si（110）晶圆，载玻片和碳涂层的铜栅上，并位于不同的衬底上，以达到目标（ds-t）距离。TiO2薄膜的结构特性通过X射线衍射（XRD）和透射电子显微镜（TEM）以及选定区域电子衍射（SAED），使用原子力显微镜（AFM）的表面形态以及使用分光光度计的光学透射光谱进行表征。XRD结果表明，以不同的ds-t距离沉积的TiO2薄膜仅具有金红石晶体结构。膜的结晶度和厚度随着ds-t距离的减小而增加，而粗糙度则减小。发