NITRIDE是作为STICMP的STOPLAYER。NITRIDE的厚度要精确控制，一方面与PADOXIDE,SiON,ARC的厚度相匹配，很好的控制exposure时的折射率,厚度为1625A时的CDcontrol最好；另一方面与BIRD’SBEAK的形成有关。如果NITRIDE太厚，BIRD’SBEAK会减小，但是引入Si中的缺陷增加；如果加厚PADOXIDE，可减小缺陷，但BIRD’SBEAK会增加