原子层沉积技术制备ZnO纳米材料及其在抗菌领域的研究进展,全小雨,王登魁,本文介绍了原子层沉积技术制备ZnO纳米材料的研究历史及现状,概括了原子层沉积制备ZnO的优势,总结了反应源类型、衬底类型、衬底温