温度补偿在工序间检测器具中的应用rar,提出了温度变化给工序间检测器具的测量结果产生误差的两种类型,介绍了温度补偿的原理和实际做法,即对由温度变化引起的那部分系统误差进行修正的方法,并以示例作了说明。