L-MBE法制备氧化镓薄膜,孔德敏,刘爱华,本实验用L-MBE(激光分子束外延)法在蓝宝石衬底上制备氧化镓薄膜,并研究了氧分压和激光能量对氧化镓薄膜结晶质量的影响。并利用X