一种由聚甲基硅氧烷制备SiO2薄膜的简易方法,张见,付猛,本文报道一种由聚甲基硅氧烷制备SiO2薄膜的简易方法。以甲基三乙氧基硅烷为起始物,经水解和缩聚反应合成聚甲基硅氧烷(MeSiO1.5)n,在