MEMS传感器加快机器人智能化步伐
MEMS传感器是令人惊奇的小器件,大小仅为几平方毫米,通常包含两个芯片。一个是传感器芯片,通常来说MEMS器件提供运动或压力信息,但它也可以用作磁性固态传感器。
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