光电化学制备相干多孔硅等径控制技术研究,刘微,端木庆铎,相干多孔硅(Coherent Porous Silicon, CPS)是通道尺寸在微米量级且大小均匀,空间规则排列的多孔硅阵列,其具有高长径比,大孔隙率等优点,