在超大规模集成电路设计中,互连线寄生参数提取已经成为必不可少的一个环节,并且随着工艺进步对寄生参数提取精度和速度都提出更高要求。论文描述了一款基于3D场解决器的精确寄生参数提取软件设计与实现方法,试验表明该软件能够方便精确地完成寄生参数提取。