纳米压痕法中基底对测量薄膜/基底体系的力学性质的影响,廖艳果,胡和平,在本文中,用有限元方法研究了弹塑性的膜/基体系的圆锥形压头的纳米压痕过程。通过变化最大压入深度与薄膜厚度的比值(从0.01到1.25