热处理工艺对于AZO薄膜电阻及其稳定性的影响,王丹,端木庆铎,采用原子层沉积技术,在玻璃衬底上沉积AZO纳米叠层薄膜,制备了一种应用于微通道板打拿极导电层的薄膜。分析了热处理工艺对AZO薄膜