Thickness Dependent Phase Evolution of Nano Hf0.5Zr0.5O2 Thin Films Prepared wit

薄膜厚度对纯水基溶胶-凝胶法制备Hf0.5Zr0.5O2纳米薄膜相转变的影响，郭春霞，周大雨，利用纯水基溶胶-凝胶法在Si基底上制备Hf0.5Zr0.5O2薄膜，对Hf0.5Zr0.5O2胶体进行DSC-TGA分析，并以AFM、XRR以及GIXRD为主要手段对薄膜样品的表面