薄膜厚度对纯水基溶胶-凝胶法制备Hf0.5Zr0.5O2纳米薄膜相转变的影响,郭春霞,周大雨,利用纯水基溶胶-凝胶法在Si基底上制备Hf0.5Zr0.5O2薄膜,对Hf0.5Zr0.5O2胶体进行DSC-TGA分析,并以AFM、XRR以及GIXRD为主要手段对薄膜样品的表面