低应力、高弹性、较高硬度的含氢碳膜,王琦,贺德衍,研究了不同氢气流量下制备的含fullerene-like微结构氢化碳膜的结构和机械性能,并探讨了fullerene-like微结构含量和机械性能之间的关系。�