论文研究 单片三维集成中的关键工艺和器件技术 .pdf

houguof 12 0 PDF 2020-07-17 04:07:48

单片三维集成中的关键工艺和器件技术 ,杨远程,黎明,三维单片集成的发展动力来自对高集成度、低成本、多功能系统的需求。器件选择上,栅控能力强、泄漏电流低的超薄体全耗尽器件(如

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