二氧化硅纳米薄膜非平衡热导率研究,马连湘,王向宁,二氧化硅纳米绝缘薄膜的传热是靠声子在薄膜的振动实现的。声子在纳米薄膜结构中传输的非平衡性影响了薄膜的热导率。3ω实验方法是