论文研究 脉冲共轴磁控等离子体在非导电陶瓷管内涂层中的扩展阳极效应
gk57893
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2020-07-17 08:07:24
对于非导电薄膜的均匀管内涂层,研究了双端同轴磁控脉冲等离子体(DCMPP)方法。 在这项研究中,进行了TiN和TiO2的涂层。 清楚地表明,延长的阳极效应受到绝缘管内表面上涂覆的薄膜电阻的强烈影响。 另外,高频(100 kHz)相对较高的等离子体密度更好。 另一方面,在沉积二氧化钛的情况下,负离子的产生极大地降低了涂覆的TiO2膜的沉积速率和等离子体主要位置的移动速度。
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