Fabrication and evolution of nanostructure in Al2O3 single crystals by Zn+ ions

Zn离子注入单晶Al2O3并退火制备ZnO纳米结构，徐进霞，张红秀，将能量为60 keV的Zn+注入到[0001]α-Al2O3 单晶 (蓝宝石)，注入剂量为 1×1017 ions/cm2 和 2×1017 ions/cm2，然后将样品在氧气氛下不同温度退火。用�