氢气对化学气相沉积热解炭的影响,樊哲琼,谭瑞轩,为了研究氢气载气对化学气相沉积微环境的影响,自行设计了化学气相沉积炉并在温度为900℃,体积比为1:10丙烯/载气条件下,载气分别�