论文研究 统计矩量法研究氧化锆薄膜的热力学性质

统计（SMM）动力学中的矩量法用于研究ZrO2薄膜的热力学量，同时考虑了晶格振动的非谐效应。 计算出ZrO2薄膜在恒定体积下的平均晶格常数，热膨胀系数和比热，作为温度，压力和薄膜厚度的函数。 使用ZrO2薄膜的白金汉势来执行SMM计算。 在本研究中，已使用三种不同的原子间电势研究了温度，压力和尺寸对ZrO2薄膜热力学量的影响。 我们讨论了一些热力学量的ZrO2薄膜的温度和厚度依赖性，并将我们的计算结果与实验结果进行了比较。