多晶硅铸锭炉喷淋式氩气导流系统数值模拟优化,苏文佳,李琛,通过优化氩气流场可以降低多晶硅铸锭中杂质分布及数量,从而生长高质量晶体。本文使用Fluent软件对氩气死区、盖板开孔、氩气出口数