退火温度对NdFeB薄膜磁性能的影响,张敏刚,李敏杰,采用磁控溅射法制备了Mo/Nd/NdFeB/Nd/Mo多层薄膜,利用X射线衍射仪、振动样品磁强计及原子力显微镜对不同温度退火后的薄膜样品的晶体结