铜互联层游离磨料超精表面制造工艺中颗粒复杂作用数值分析,韩雪松,,铜互连层超精表面制造主要由化学机械抛光工艺实现,而化学机械抛光的功能实现与抛光液中游离磨料(颗粒)的复杂行为密切相关,抛