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亚表面损伤(SSD)的系统表征和准确检测是控制光学材料加工表层损伤的关键。将SSD的表征方法和检测技术相结合, 综述了光学材料SSD检测评价方法的研究进展; 分析了超精密加工产生的SSD结构和表征参量

超快激光具有脉冲能量高、加工精度高、热影响区小等特性,在材料加工尤其是微纳加工和表面改性中具有独特优势。介绍了超快激光加工金属材料的典型数值模拟方法,综述了近十几年来关于超快激光加工金属材料过程中烧蚀

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