超薄类金刚石膜的制备和性能分析,钟敏,王慧,本文采用离面双弯曲过滤阴极真空弧沉积系统,在单晶硅片上沉积类金刚石薄膜。用原子力显微镜(AFM)对其表面形貌进行观察,并用透