温度对脉冲激光沉积法制备β-FeSi2薄膜性能的影响,姜守振,许士才,采用脉冲激光沉积(PLD)法在硅(100)面上成功制备β-FeSi2薄膜。利用XRD、FTIR、SEM等对薄膜进行表征。结果表明,晶体结晶质量随着温度