微晶硅沉积的射频等离子体辉光发射谱

采用电感耦合等离子体发射光谱法测试煤灰中9种常量元素,提出了标准溶液和标准灰样两种工作曲线测定方法,对两种方法的检出限、重复性(精密度)、准确度比较的结果显示,由于后者与待测样品有相似的主体或成分特性

GB/T 33465-2016 电感耦合等离子体发射光谱法测定 汽油中的氯和硅 提供国家标准《GB/T 33465-2016 电感耦合等离子体发射光谱法测定 汽油中的氯和硅》电子版的,同时提供更多发射

关于用适当方法来约束热核等离子体的研究,一直是仅仅集中在利用磁场这方面。至于利用射频电磁场的问题,约在10年以前就放弃了,主要是因为空腔壁上欧姆能量损失过大,使得从热核、射频约束的等离子体获得净能量在

尘埃离子声波在非均匀等离子体中的传播，李阳芳，马锦秀，本文研究了非均匀等离子体中尘埃离子声波的传播特性。通过流体力学方法，得到不同情况条件下的扰动密度。同时考虑了等离子体密度

微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法产生的等离子体密度高,材料外延生长过程可控性好且洁净度高,是制备高质量金刚石膜的重要方法。基于谐振腔理论和三维全波电磁场仿真,对MPCVD设备微波系统中谐振腔、

李海江,王守国,赵玲利,叶甜春(中国科学院微电子研究所,北京 100010)摘要:介绍了一种新型的常压射频低温冷等离子体放电设备,用该设备进行了清洗光刻胶的工艺实验研究。实验结果表明:在100mm硅片

等离子体辅助电子束蒸发沉积TiN薄膜，张茂平，陈俊芳，利用朗缪尔静电双探针诊断了电子束蒸发镀膜装置反应室等离子体密度，分析了其分布规律，讨论了气压和射频功率对其的影响，获��

圆锥前体非对称流动的等离子体控制特性，唐花蕊，赵子杰，应用一对单介质阻挡放电（Single-Dielectric-Barrier-Discharge，SDBD）等离子体激励器对20顶角圆锥-圆柱组合

圆锥前体涡的等离子体控制特性及机理，刘锋，罗时钧，在半顶角为10°的圆锥前体尖端处布置一对等离子体激励器，通过占空循环控制技术实现了对圆锥前体力和力矩的近似比例控制，并对流�

利用Nd∶YAG 纳秒脉冲激光(波长为532 nm)分别在空气中和水下对单晶硅进行单脉冲辐照,研究了在介质/硅片界面产生的激光等离子冲击波对硅表面形貌的影响。通过压电传感器对辐照过程中冲击波力学信号进